SJ6000激光干涉儀平行度測量是在直線度測量的基礎上而擴展的應用。

平行度測量原理

平行度測量由平行軸的兩組直線度測量組成，參見下面平行度測量光路原理構(gòu)件圖，其中直線度反射鏡作為共同的參考基準，在測量過程中保持原位，且不進行調(diào)整。由第1運動軸的斜度θ1中減去第2運動軸的斜度θ2，即可得出平行度＝θ1－θ2。

平行度測量配置

平行度測量配置主要由SJ6000主機、短直線度鏡組（或長直線度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測量軟件等組件構(gòu)成。Z軸的平行度測量需增添可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡。

平行度測量應用