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?中圖儀器輪廓測量儀SuperViewW1是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperViewW1非接觸3d光學(xué)輪廓儀器的X/Y方向標準行程為140*100mm，滿足減薄后晶圓表面大范圍多區(qū)域的粗糙度自動化檢測、鐳射槽深寬尺寸、鍍膜臺階高等微納米級別精度的測量。在同等放大倍率下，測量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。

SJ5700DUAL掃描粗糙度輪廓測量儀具有精度高、操作方便易用、功能強大、智能防護、智能接觸等優(yōu)點，一次測量即可自動記錄和顯示任意位置螺紋數(shù)據(jù)及各種螺紋參數(shù)，自動生成被測螺紋的曲線圖、相關(guān)參數(shù)數(shù)據(jù)和圖表，儀器配備各種專業(yè)的現(xiàn)場工件工裝夾具，非常適合各種生產(chǎn)線螺紋工件、絲杠、軸類、筒類、大曲面零件以及特殊多段螺紋的在線測量。

SJ5700DUAL國產(chǎn)表面粗糙度輪廓測量儀器是一種高精度的工件表面粗糙度、輪廓測量分析儀器，可以全量程大范圍連續(xù)掃描，擁有長達數(shù)百毫米的持續(xù)爬坡能力，非常適合大范圍陡坡表面測量，大工件無需翻轉(zhuǎn)、傾斜調(diào)整，就可實現(xiàn)輕松測量。

SuperViewW1國產(chǎn)3d光學(xué)輪廓儀器是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓，主要用于超精密加工行業(yè)。

SuperViewW1光學(xué)表面輪廓儀采用CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。