中圖儀器臺階測量儀線性可變差動電容傳感器(LVDC),具有亞埃級分辨率,13μm量程下可達0.01埃。高信噪比和低線性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺階的形貌特征。
CEM3000材料分析掃描電子顯微電鏡具有更高的易用性,要堅固耐用得多。臺式電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng),這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上,在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結果。此外
CEM3000四象限高分辨探頭掃描電鏡憑借其簡便的操作系統(tǒng),讓復雜的掃描電鏡使用過程變得簡單快捷。在工業(yè)領域展現(xiàn)出廣泛的應用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
SuperViewW白光干涉光學3D測量儀基于白光干涉原理,以3D非接觸方式,測量分析樣品表面形貌的關鍵參數(shù)和尺寸。白光干涉儀的特殊光源模式,可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。
中圖儀器國產(chǎn)臺階高度測量儀通過2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結合亞埃級分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準測量臺階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
中圖儀器國產(chǎn)掃描電子顯微電鏡廠家搭配有多種探頭,能夠對樣品進行多種手段的分析。在工業(yè)領域展現(xiàn)出廣泛的應用價值,標配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng),能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求,實現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
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