PLR3000納米分辨率激光干涉尺0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線(xiàn)性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000非接觸高精度激光干涉尺具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時(shí)其熱源隔離設(shè)計(jì),保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準(zhǔn)直等特點(diǎn)??筛鶕?jù)用戶(hù)需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實(shí)現(xiàn)多軸測(cè)量或多自由度測(cè)量。
PLR3000中圖儀器激光干涉尺分辨率可達(dá)10nm,線(xiàn)性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
中圖儀器PLR3000激光干涉尺是新一代高精度位置檢測(cè)設(shè)備,基于激光干涉測(cè)量原理,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線(xiàn)性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000光纖激光干涉尺0.02ppm穩(wěn)頻精度光纖激光尺突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸,支持單軸至多軸測(cè)量,分辨率可達(dá)10nm,線(xiàn)性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
PLR3000精密激光干涉尺基于激光干涉測(cè)量原理,專(zhuān)為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計(jì)。分辨率可達(dá)10nm,線(xiàn)性精度高達(dá)0.2ppm,為復(fù)雜工業(yè)場(chǎng)景提供精準(zhǔn)、可靠的位置反饋與控制。
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